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| 型號(hào) | 臺(tái)面尺寸 (mm) | 移動(dòng)行程 (mm) | 真直度 (um) | 縱向偏擺 | 橫向偏擺 | 荷重 (kgf) | 本體重量 (kg) |
| MXYZ25-S | 25x25 | X軸 ±3.2 ; Y軸 ±3.2 ; Z軸 ±3.2 | 5 | 30" | 25" | 1 | 0.21 |
| MXYZ30-S | 30x30 | X軸 ±3.2 ; Y軸 ±3.2 ; Z軸 ±3.2 | 5 | 25" | 15" | 5 | 0.29 |
| MXYZ40-S | 40x40 | X軸 ±6.5 ; Y軸 ±6.5 ; Z軸 ±6.5 | 5 | 25" | 15" | 5 | 0.72 |
| MXYZ50-S | 50x50 | X軸 ±6.5 ; Y軸 ±6.5 ; Z軸 ±6.5 | 5 | 25" | 15" | 5 | 1.06 |
| MXYZ60-S | 60x60 | X軸 ±6.5 ; Y軸 ±6.5 ; Z軸 ±6.5 | 5 | 25" | 15" | 5 | 1.38 |
| MXYZ70-S | 70x70 | X軸 ±6.5 ; Y軸 ±6.5 ; Z軸 ±6.5 | 5 | 25" | 15" | 5 | 2.06 |
| MXYZ80-S | 80x80 | X軸 ±12.5 ; Y軸 ±12.5 ; Z軸 ±12.5 | 5 | 25" | 15" | 5 | 2.96 |
| MXYZ100-S | 100x100 | X軸 ±12.5 ; Y軸 ±12.5 ; Z軸 ±12.5 | 5 | 25" | 15" | 5 | 4.99 |
| 軌道特性說明 | |||||
| 軌道方式 | 特性說明 | 產(chǎn)品應(yīng)用 | 移動(dòng)精度 | 耐荷重 | 剛性 |
| 交叉滾柱導(dǎo)引 | 移動(dòng)的滑軌是兩個(gè)V型溝滑槽經(jīng)熱處理硬化后，施行高精度成型研磨加工，與轉(zhuǎn)動(dòng)滾柱軸承構(gòu)成，軸承相連，以90度的角度輪流移動(dòng)，達(dá)到高平行度及高平面度使用需求。在構(gòu)造上，V型構(gòu)槽和交叉滾柱，因?yàn)槭怯镁€接觸方式傳動(dòng)，因此可得到高精度的移動(dòng)，及耐荷重的表現(xiàn)。 | 此產(chǎn)品可應(yīng)用在高精度、重荷重的精密移動(dòng)裝置、光學(xué)實(shí)驗(yàn)之精密量測(cè)、精密微調(diào)最適合、各種生產(chǎn)機(jī)械，檢查裝置，精密定位，定量移動(dòng)等等。 | 優(yōu) | 佳 | 優(yōu) |
| 線 性 滾 珠 導(dǎo) 引 |
滑軌與本體是一體的，哥德式弧型構(gòu)槽施行高精度成型研磨加工，達(dá)到高平行度及高平面度。哥德式弧形構(gòu)槽在本體的上、下滑軌面，各由雙孤槽構(gòu)成，單槽移動(dòng)的鋼球是二點(diǎn)接觸的架構(gòu)，雙弧槽總共四個(gè)接觸點(diǎn)，構(gòu)成堅(jiān)固的滑軌結(jié)構(gòu)。因SUS-STAGE的滑軌，是將鋼球組裝導(dǎo)引進(jìn)弧形溝槽而成的，在組裝上減少傳統(tǒng)的調(diào)整與校正所需要的工時(shí)，亦不需要調(diào)整螺絲，可除去因螺絲鬆動(dòng)所導(dǎo)致的精度維修問題和工時(shí)。 | 此產(chǎn)品應(yīng)用在高精度，中荷重的精密定位裝置，生產(chǎn)設(shè)計(jì)整合系統(tǒng)，光學(xué)實(shí)驗(yàn)，精密傳送，精密微調(diào)的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)應(yīng)用。 | 優(yōu) | 優(yōu) | 優(yōu) |
| 鳩 | 鳩尾槽式平臺(tái)－齒輪齒條 | 此產(chǎn)品應(yīng)用在光學(xué)儀器裝置、測(cè)定器、檢查裝置、半導(dǎo)體製造裝置、試驗(yàn)機(jī)、顯微鏡、搬運(yùn)機(jī)、加工機(jī)、醫(yī)療機(jī)器、印刷機(jī)及其它。 | 可 | 佳 | 佳 |
尾 |
（主要材料：低鎘黃銅或鋁合金）備有適合以裝入模式安裝的小型、粗微動(dòng)、大型等多款型號(hào)。驅(qū)動(dòng)調(diào)整模式為齒輪齒條。適用于使用頻率較高，需要快速移動(dòng)與較大行程的情況。 | ||||
| 螺牙驅(qū)動(dòng)平臺(tái) | |||||
| 槽 | （主要材料：低鎘黃銅] 備有便攜式的標(biāo)準(zhǔn)型和適合內(nèi)置模式安裝的滑塊型。驅(qū)動(dòng)調(diào)整模式為螺桿模式。適用于使用頻率較低，進(jìn)行微小調(diào)整的場(chǎng)合。 | ||||
| 雙 | 藉由左右2邊之圓棒來輔助中間的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，進(jìn)行滑臺(tái)之運(yùn)作，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)如下： | 此產(chǎn)品應(yīng)用于治具、攝影機(jī)、感應(yīng)器、噴嘴、輸送帶導(dǎo)料槽寬等不需高精度調(diào)整的微調(diào)上。 | 可 | 可 | 可 |
| 圓 | 進(jìn)給螺絲式 | ||||
| 棒 | 利用螺絲的推壓來移動(dòng)平臺(tái)，另一端搭配彈簧回推特性抑制間隙產(chǎn)生。適用于承載輕量物品、精密進(jìn)給時(shí)使用。 | ||||
| 型 | 螺牙式 | ||||
| 藉由螺牙穿過平臺(tái)來移動(dòng)滑臺(tái)，作為Z軸使用時(shí)，滑臺(tái)會(huì)配合螺絲進(jìn)給移動(dòng)，相較于進(jìn)給螺絲搭配彈簧傳動(dòng)，耐荷重較佳。 | |||||
| 滑臺(tái)主要進(jìn)給方式 | |||
| 主要進(jìn)給方式 | 特性 | 把手旋轉(zhuǎn)一圈的移動(dòng)量 | 適用之導(dǎo)引裝置 |
| 齒軌與齒輪 | ● 適合快速大量進(jìn)給的情況。 | 17~20 mm | ● 鳩尾槽 |
| ● 不適合做精密定位。 | |||
| 進(jìn)給螺絲 | ●利用精密螺紋之螺距，進(jìn)行簡(jiǎn)易精密移動(dòng)的情況。 | 0.25~1 mm | ● 鳩尾槽 |
| ● 由于比分厘卡測(cè)頭更便宜，被利用于多樣產(chǎn)品上。 | ● 交叉滾柱 | ||
| ● 線性滾珠 | |||
| 分厘卡測(cè)頭 | ● 一般精度讀取單位以0.01mm，適合做精密調(diào)整。 | 0.5 mm | ● 鳩尾槽 |
| ● 交叉滾柱 | |||
| ● 線性滾珠 | |||
| 粗微動(dòng)分厘卡測(cè)頭 | ● 可分為粗動(dòng)(一般進(jìn)給)和微動(dòng)(微量進(jìn)給)使用。 | 粗調(diào)：0.5 mm | ● 交叉滾柱 |
| ● 此為特殊進(jìn)給裝置，成本較高。 | 微調(diào)：0.025mm | ● 線性滾珠 | |
| ● 以差動(dòng)構(gòu)造，細(xì)微傳送。 | |||
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