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| 型 號 | AY40-F2NR-ND | AY60-F2NR-ND | AY80-F2NR-ND |
| AY40-F2NL-ND | AY60-F2NL-ND | AY80-F2NL-ND | |
| 臺面尺寸 | 40X40 mm | 60X60 mm | 80X80 mm |
| 移動行程 | 15 mm | ||
| 傳動方式 | 滾珠螺桿Ø6 , 導(dǎo)程 1mm | ||
| 軌道 | 線性滾珠導(dǎo)引式 | ||
| 本體重量 | 0.8 Kg | 1.4 Kg | 2.0 Kg |
| 解析度(脈沖) | 5 μm / 2.5 μm | ||
| 最高速度 (全步級) | 12 mm / sec | ||
| 單向定位精度 | 15 μm | ||
| 反復(fù)定位精度 | ±1 μm | ||
| 荷重 | 9 Kgf | 11 Kgf | 13 Kgf |
| 空轉(zhuǎn) | 3 μm | ||
| 平行度 | 20 μm | ||
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